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外延薄膜设备
021-64283335
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电镜原位偏压加热系统的广泛应用与前沿发展
圆探针式台阶仪分辨率提升方法及实验验证
晶圆探针式轮廓仪作为半导体工业中重要的测试和测量工具
国产PLD脉冲激光分子束外延装置。 脉冲激光分子束外延成膜法PLD/Laser MBE是将脉冲激光通过合成石英窗导入真空腔内照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成羽辉,升华出来的靶材堆积到设在对面的基板上而形成膜
服务热线:13501903943