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光学表面缺陷分析仪
021-64283335
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如何提升电子束曝光系统的加工精度?
薄膜性能升级,从离子束沉积开始
等离子共振显微镜,探微观奥秘
Lumina AT1光学表面缺陷分析仪可对玻璃、半导体及光电子材料进行表面检测。Lumina AT1既能够检测SiC、GaN、蓝宝石和玻璃等透明材料,又能对Si、砷化镓、磷化铟等不透明基板进行检测,其价格优势使其成为适合于研发/小批量生产过程中品质管理及良率改善的有力工具。
服务热线:13501903943